国家知识产权局信息显示，上海精测半导体技术有限公司申请一项名为“基于椭偏仪量测样品的方法及椭偏量测装置”的专利，公开号CN122448085A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本公开是关于一种基于椭偏仪量测样品的方法及椭偏量测装置。其中，基于椭偏仪量测样品的方法，包括：采集基准光斑位置处对应的第一量测穆勒光谱，并获取第一穆勒矩阵；使圆柱形主体沿垂直于入射平面的方向移动第一预设距离，形成量测光斑，采集量测光斑位置处对应的第二量测穆勒光谱及对应第二穆勒矩阵；确定第二穆勒矩阵与第一穆勒矩阵之间的数学关系；基于菲涅尔方程及数学关系，将第二穆勒矩阵表示为入射光波长、膜厚以及夹角的第一函数；基于第一函数、采用非线性回归算法对第二量测穆勒光谱进行拟合，得到膜厚以及夹角的测量值；基于第一预设距离、夹角的测量值，计算得到圆柱形主体的半径。实现了对圆柱形样品半径的快速无损测量。

天眼查资料显示，上海精测半导体技术有限公司，成立于2018年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本207265.2777万人民币。通过天眼查大数据分析，上海精测半导体技术有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目237次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息237条，此外企业还拥有行政许可76个。

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作者：情报员