国家知识产权局信息显示,无锡晶澳卫蓝新能源科技有限公司申请一项名为“晶圆对准装置”的专利,公开号CN122602822A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本申请涉及晶圆制造技术领域,特别是涉及一种晶圆对准装置。该晶圆对准装置包括承载件、多个对准组件及驱动组件。其中:承载件包括用于放置晶圆的承载面;多个对准组件沿承载面的外周方向间隔设置。每一对准组件包括第一固定件及设于第一固定件上的连接线和弹性件。连接线与第一固定件间隔设置,连接线的两端分别与弹性件相接,使连接线被张紧;驱动组件用于驱动多个对准组件靠近晶圆,使多个对准组件中的连接线在不同的运动方向上夹紧晶圆,以将晶圆与承载面对准。在晶圆对准的过程中采用连接线配合弹性件的柔性夹紧方式,相较于一般的刚性夹紧结构,能够有效避免对晶圆表面造成损伤。
天眼查资料显示,无锡晶澳卫蓝新能源科技有限公司,成立于2023年,位于无锡市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本5000万美元。通过天眼查大数据分析,无锡晶澳卫蓝新能源科技有限公司参与招投标项目10次,专利信息39条,此外企业还拥有行政许可71个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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