国家知识产权局信息显示,光微半导体(吉林)有限公司申请一项名为“复合盘体温控方法及系统”的专利,公开号CN122593490A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明公开了复合盘体温控方法及系统,属于半导体制造领域,其中方法包括:对所述复合盘体划分多个独立分区进行实时传感,构建多个分区实时温度曲线;基于所述多个分区实时温度曲线进行温差分析,计算温差数据、温差耦合关联信息;根据所述温差数据、所述温差耦合关联信息对多个独立分区进行动态调节,获得温度控制结果;基于所述温度控制结果对复合盘体进行颜色编码,构建温度感应图进行自动调温,生成调温效果进行温度验证,根据验证数据进行温控分级报警。本申请解决了现有复合盘体因材料热传导特性差异大,导致产品良率低的技术问题。
天眼查资料显示,光微半导体(吉林)有限公司,成立于2022年,位于长春市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,光微半导体(吉林)有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息17条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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