大连富乐德7nm及以下高制程精密洗净专线竣工投产
2026年9月09日，大连富乐德7nm及以下高制程精密洗净专线竣工投产仪式在大连保税区普洛斯智造产业园内隆重举行，北方华创、SK海力士、应用材料、普洛斯中国区等企业代表、合作伙伴以及FerroTec集团领导齐聚现场，共同见证富乐德在半导体高制程精密洗净领域的重要里程碑时刻。
强链固本，启序新章
大连富乐德扎根金普新区大连保税区环普国际产业园区，在良好的营商环境滋养下，成长为东北地区泛半导体设备精密洗净领域标杆企业，为区域半导体产业链补链强链注入强劲动能。
公司新项目总投资1.4亿元，项目实用面积11160㎡，打造面向7nm及以下高制程的精密洗净专线，建设高制程零部件新品及再生专属配套基地，承接全国7nm及以下等级产品精密洗净业务。该项目配套生产及精密检测设备350台（套）。其中，改造建成6800平方米标准化生产车间、1500平方米厂务辅助区，搭建了千级、百级、十级逐层递进的梯度无尘洁净车间，同步建成无油空压机、超纯水、废水废气处理等全套公用环保动力设施。项目聚焦半导体痕量金属污染清洗技术与高端检测业务，服务能力覆盖ALD、PVD、CVD等设备领域，涵盖金属、陶瓷、石英等多种高制程核心零部件的洗净与再生。项目全面达产后，月产高端微控制半导体配套产品约18000件。
安徽富乐德科技发展股份有限公司总经理王哲在仪式致辞和项目介绍中表示，富乐德深耕半导体精密洗净领域二十余年，依托Ferrotec集团平台，聚焦洗净服务、关键零部件、半导体材料研发制造三大核心业务。伴随全球半导体产业向先进制程快速迭代，7nm及以下高制程对零部件洁净度、痕量金属污染控制提出严苛标准。半导体设备零部件新品洗净与再生服务，是保障设备运行性能、提升芯片制造良率的关键配套，也是国产高端半导体设备产业链建设中至关重要的一环。
普洛斯中国资产平台副首席运营官蔡晨表示富乐德是在大连最早一批入园、也是相伴最久的伙伴之一，近十年来一路同行，共同见证了企业从落地扎根到三期扩产的成长足迹，以后持续会为公司提供更加优质的服务，为公司发展保驾护航；SK海力士半导体（大连）有限公司供应链总监于淼、北方华创科技集团股份有限公司CEO董博宇先后上台致辞祝贺，充分肯定富乐德在半导体零部件洗净再生领域积累的技术实力与制造能力，表达了期待未来持续深化战略合作，携手共建稳定、高效的半导体产业供应链的美好愿景。
FerroTec集团（中国）董事局贺贤汉主席在最后致辞中，回顾了富乐德在半导体配套领域多年的深耕之路，对项目建设团队攻坚克难完成产线建设给予高度肯定，从技术积淀到产能布局，企业始终紧跟国内集成电路产业发展浪潮，持续在精密洗净、零部件再生等关键赛道持续发力，对7nm及以下高制程精密洗净专线未来规划与发展寄予厚望并充满信心。
这条专线的落地，将有效补齐华北、东北区域高制程设备零部件再生配套短板，深度对接国内半导体设备厂商、晶圆代工企业先进制程升级需求，强化与核心客户长期战略合作，为国内半导体高端设备国产化提供坚实配套支撑。
竣工投产只是全新起点，精益求精是富乐德始终坚守的追求。未来，富乐德将持续以客户需求为导向，坚持质量为本、创新为魂，以严苛工艺标准、稳定交付能力、持续研发投入，助力国产半导体设备性能提升，做值得信赖的产业伙伴。同时企业将继续扎根大连自贸片区，深度融入本地半导体产业生态建设，为区域集成电路产业高质量发展贡献更大的力量。
第五届GMIF创新峰会
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