国家知识产权局信息显示,纳美半导体设备(广州)有限公司申请一项名为“一种全自动双工位晶圆双面检测装置”的专利,公开号CN122901631A,申请日期为2026年8月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆检测技术领域,具体涉及一种全自动双工位晶圆双面检测装置,包括机台;所述机台设有检测机构以及承载机构;所述检测机构包括检测座、上测试针以及设于检测座的下测试针;所述承载机构包括承载座;所述承载座设有承载顶板;所述承载顶板贯穿设有检测槽;所述承载顶板设有承载平台;所述承载机构还包括压环;所述承载座设有固定组件;所述机台设有支撑架;所述承载机构还包括取放组件。本发明通过采用上下对称式的上测试针与下测试针,能够对晶圆进行一次定位后即可完成晶圆双面同步检测,无需翻转晶圆,从而避免了翻转过程中的损伤与定位误差,且上测试针与下测试针的测试压力一致,有效防止了薄晶圆受力翘曲,有效地提高检测精度。

天眼查资料显示,纳美半导体设备(广州)有限公司,成立于2022年,位于广州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本428.5714万人民币。通过天眼查大数据分析,纳美半导体设备(广州)有限公司财产线索方面有商标信息4条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可9个。

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作者:情报员