国家知识产权局信息显示,希烽光电科技(南京)有限公司和NANO科技(北京)有限公司申请一项名为“基于PAMS热解牺牲墙的高速光电探测器共晶键合方法”的专利,公开号CN122934958A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基于PAMS热解牺牲墙的高速光电探测器共晶键合方法,包括如下步骤:S1、晶圆预处理;S2、PAMS薄膜旋涂与固化;S3、光刻显影;S4、干法刻蚀;S5、后处理与划片;S6、PD芯片与TIA芯片共晶键合以及PAMS热解牺牲墙挥发。优点,本发明中的PAMS热解牺牲墙,制备于Au bump工艺之后,完全兼容现有芯片工艺,可在晶圆上批量制备与Au bump高度精确匹配的环形的PAMS热解牺牲墙,共晶键合后可完全去除无残留,显著提高共晶键合的良率和效率,适合大规模量产。
天眼查资料显示,希烽光电科技(南京)有限公司,成立于2018年,位于南京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1941.4848万美元。通过天眼查大数据分析,希烽光电科技(南京)有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目2次,专利信息117条,此外企业还拥有行政许可6个。
NANO科技(北京)有限公司,成立于2007年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本14578.66335万人民币。通过天眼查大数据分析,NANO科技(北京)有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息171条,此外企业还拥有行政许可2个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
热门跟贴