好消息来了,又一家国产KrF光刻胶通过验证!

近日,武汉太紫微宣布,其推出的T150 A光刻胶产品,已通过半导体工艺量产验证。

据了解,这款光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶。并且,相较于被业内称之为“妖胶”的国外同系列产品,T150 A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大,稳定性更高,坚膜后烘留膜率优秀,其对后道刻蚀工艺表现更为友好,通过验证发现T150 A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。

同时,值得称道的是,这款光刻胶还实现了配方全自主设计。

大家都知道,光刻胶半导体行业所需的关键性原材料,主要分为g 线光刻胶、i 线光刻胶、KrF光刻胶、 ArF光刻胶和EUV光刻胶等等。

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长时间以来,全球光刻胶主要被日美企业占据着,但随着美西方在半导体领域对我们进行持续封锁和打压,国产半导体产业链也迎来了发展机遇,国产化替代的进程正在加速,时至今日,各个领域已有重大突破。

过去两年,关于国产光刻胶,我也在很多视频中给大家介绍过。目前已经取得了不小的几进步,国产光刻胶的市场份额正在逐步提升,例如,根据某券商的研发显示,i线光刻胶的国产化率已经超过60%-70%,KrF光刻胶的国产化率也超过 30%-40%,ArF光刻胶也达到了10-20%。

在高端的EUV光刻胶方面,受限于没有EUV光刻机,发展的动力略显不足,但北京科华的EUV光刻胶项目已通过02专项验收,做好了技术储备。未来随着国产高端光刻机的发展,这一细分领域也不会有任何问题。换句话说,国产光刻胶已经打破了国外技术垄断。

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另外,值得一提的是,武汉太紫微成立于2024年5月,不到半年就取得这样的技术突破,背后是华中科技大学武汉光电国家研究中心,在电子化学品领域已经深耕了二十余载,技术实力可见一斑。并且不止是KrF,团队还将开发ArF光刻胶,助力国产半导体产业的进一步发展。

总之,在国家的发展和进步中,半导体产业具有重要的战略作用,所以必须实现自主可控才行,而光刻胶作为关键材料之一,自然也获得了政策层面的全力支持。

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相信在这样一个大背景,以及国产半导体行业的快速发展之下,国产光刻胶在2024年有望获得更高的市场份额,并且国产光刻胶将会持续获得好的发展机遇。