国家知识产权局信息显示,微程式资讯股份有限公司申请一项名为“光罩感测总成的控制界面”的专利,公开号CN121050185A,申请日期为2024年5月。专利摘要显示,本发明提供了一种光罩感测总成的控制界面,包含有:一光罩形感测模块与一盒体。该光罩形感测模块具有一传感器与一储存器。该传感器用以感测该主体在模拟微影制程过程中的环境信息,并据以产生一侦测讯号,并储存于该储存器中;该盒体系供该光罩形感测模块放置,具有一盒体处理器以及复数个控制键与复数个指示器。操作该等控制键可产生预定的指令,再将该指令以无线的方式传送至该光罩形感测模块,以执行该指令。在执行该指令后,该光罩形感测模块产生一状态讯号传送至该盒体处理器,据以使该等指示器产生特定的讯息。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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