天眼查APP显示，近日，无锡卓海科技股份有限公司申请的“一种薄膜厚度测量装置及方法”专利获授权。摘要显示，本发明公开了一种薄膜厚度测量装置及方法。薄膜厚度测量装置中的反射膜厚测量模块用于获取经标定位置处薄膜反射的第一反射光信号的标定位置反射光谱信息；光声膜厚测量模块用于依次发射第二入射光信号和第三入射光信号至标定位置，获取和分析经薄膜反射的第三反射光信号以确定标定位置的第一厚度信息；控制模块用于根据标定位置反射光谱信息、薄膜的反射率理论计算公式和第一厚度信息确定薄膜的实际折射率和实际消光系数；反射膜厚测量模块还用于获取经待测位置处薄膜反射的第一反射光信号的标待测位置反射光谱信息；控制模块还用于根据实际折射率、实际消光系数和标待测位置反射光谱信息确定待测位置的厚度信息。可提高薄膜厚度测量的准确性。